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申请/专利权人:先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要:本发明属于残靶废料回收技术领域,公开了一种靶材脱铟的方法及铟料,该靶材脱铟的方法,包括如下步骤:步骤1:将靶材置于纯水中使靶材内部吸满纯水;步骤2:以>1.9℃min的升温速度将步骤1吸水后的靶材升温至170℃,脱铟完成。本发明提供了一种靶材脱铟的方法,通过在升温脱铟前先将靶材内部充满水,并且控制升温速度有效使得靶材内部的水的体积变化,利用水蒸汽体积变大的原理改变铟与靶材的接触角,让它恢复到一个疏水性,这样就能将铟完全从靶材上脱落,有效提高铟的回收率。
主权项:1.一种靶材脱铟的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:将靶材置于纯水中使靶材内部吸满纯水;步骤2:以>1.9℃min的升温速度将步骤1吸水后的靶材升温至170℃,脱铟完成。
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权利要求:
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