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申请/专利权人：青岛华芯晶电科技有限公司
摘要：本发明公开了蓝宝石衬底双面高效抛光装置及其抛光方法，涉及衬底抛光技术领域，为解决现有的蓝宝石衬底抛光多数都是单面的，进行另一面抛光需要取下重新安装，费时费力，并且整体结构大，灵活性差，打磨效率低的问题。所述底座的上端设置有定位座，且定位座与底座焊接固定，所述定位座的上表面设置有转动槽，且转动槽与定位座为一体结构，所述转动槽的内部设置有转动座，所述转动座的上端设置有安装座，且安装座与转动座为一体结构，所述转动座的两端均设置有转动轴，且转动轴的一端插入转动槽的内壁中，所述转动座通过转动轴与定位座转动连接，所述定位座后方的两侧均设置有连接座。
主权项：1.蓝宝石衬底双面高效抛光装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的上端设置有定位座2，且定位座2与底座1焊接固定，所述定位座2的上表面设置有转动槽3，且转动槽3与定位座2为一体结构，所述转动槽3的内部设置有转动座4，所述转动座4的上端设置有安装座5，且安装座5与转动座4为一体结构，所述转动座4的两端均设置有转动轴27，且转动轴27的一端插入转动槽3的内壁中，所述转动座4通过转动轴27与定位座2转动连接，所述定位座2后方的两侧均设置有连接座20，两个所述连接座20的内部均设置有连接槽21，且连接槽21为三面开口形式，两个所述连接槽21的内部分别设置有第一转动臂18和第二转动臂19，且第一转动臂18和第二转动臂19均与连接槽21转动。
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权利要求：
百度查询： 青岛华芯晶电科技有限公司 蓝宝石衬底双面高效抛光装置及其抛光方法
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