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申请/专利权人：中国科学院大学
摘要：本发明涉及的窄腔介质阻挡低气压分隔放电真空紫外光源由铝合金光源主体、放电气体进气管、铝反射镜、长条形放电腔、石英介质阻挡板、放电气体出气管、上放电电极、下放电电极、屏蔽盖、氟化镁透镜、真空紫外光输出口、冷却风扇入口、冷却风扇出口、高压脉冲输入缆线接头、高压脉冲输入缆线绝缘柱、石英放电分隔条构成。放电气体为低压惰性气体，由介质阻挡放电激发长条形放电腔内的惰性气体，形成等离子体，低压放电等离子体发出的原子共振线辐射经氟化镁透镜射出，此外长条形放电腔内安装有10条石英放电分隔条，将介质阻挡放电腔分成9个放电区域，结合铝反射镜，利用受激辐射原理，增强真空紫外光输出，形成纵向成分较多的原子共振线真空紫外光源，本发明可有效增加真空紫外光源的光束质量。
主权项：1.窄腔介质阻挡低气压分隔放电真空紫外光源由铝合金光源主体、放电气体进气管、铝反射镜、长条形放电腔、石英介质阻挡板、放电气体出气管、上放电电极、下放电电极、屏蔽盖、氟化镁透镜、真空紫外光输出口、冷却风扇入口、冷却风扇出口、高压脉冲输入缆线接头、高压脉冲输入缆线绝缘柱、石英放电分隔条构成，其特征在于：上述部件依照说明书附图组成窄腔介质阻挡低气压分隔放电真空紫外光源。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院大学 窄腔介质阻挡低气压分隔放电真空紫外光源
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