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申请/专利权人：厦门大学
摘要：一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器，涉及一种压力传感器。提出一种利用放大横向位移的杠杆传递结构。该传感器采用静电激励压阻检测，包括上下感压膜层、上下玻璃层、结构层、衬底层以及杠杆层，其中感压层、衬底层、结构层采用硅材料制作，衬底层由BF33硼硅玻璃制作；感压层由主要用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动感压膜片上的硅岛产生位移，硅岛通过连接的杠杆结构将横向位移放大并传递至谐振器层，进而使谐振层上的谐振梁产生轴向内应力，使谐振器谐振频率发生变化从而对压力进行表征，玻璃层作为封装层，用于形成高真空密封空腔。
主权项：1.一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器，其特征在于从下至上依次设有下感压层、下玻璃层、杠杆层、下衬底层、上衬底层、结构层、上玻璃层、上感压层；所述上感压层、下感压层、上衬底层、下衬底层、结构层均采用硅材料制作，衬底层由BF33硼硅玻璃制作；所述上感压层和下感压层用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动其他各层质量块偏转，各层质量块通过杠杆层及上衬底层与下衬底层连接的杠杆结构将横向位移放大并传递至结构层，进而使结构层上的谐振梁产生轴向内应力，使谐振器谐振频率发生变化从而对压力进行表征；所述上玻璃层、下玻璃层作为封装层，用于形成高真空密封空腔；所述上感压层包括上感压膜和4个电极孔，所述下感压层包括下感压膜；上感压膜位于上感压层一侧，下感压膜位于下感压层一侧，成反向对称分布；上下感压膜将检测到的压力变形传递至传感器各层结构的盖板，上下感压膜对称分布，4个电极孔位于上感压层四周。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门大学 一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器
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