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申请/专利权人：理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本实用新型属于退火设备领域，公开了一种退火设备的炉门结构及退火设备，退火设备的炉门结构包括底座、箱体横梁和炉门，底座上设有至少两个直线导轨；箱体横梁可移动地设置于至少两个直线导轨，箱体横梁包括多个铝板件和紧固件，多个铝板件通过紧固件拼接形成箱体结构；炉门设置于箱体横梁的一端。本实用新型的炉门移动平台采用箱体横梁双直线导轨模式，箱体横梁在至少两个直线导轨上水平移动，能很好的抵抗炉门产生的扭矩。箱体横梁由铝板件拼接而成，铝板件与铝板件之间通过螺栓等紧固件紧固，不仅重量较轻，而且外观更加漂亮，箱体横梁为箱体结构，其相比于单层板件结构强度更高，可提高箱体横梁的强度，以便能更好的承载扭矩。
主权项：1.一种退火设备的炉门结构，其特征在于，包括：底座，所述底座上设有至少两个直线导轨；箱体横梁，所述箱体横梁可移动地设置于至少两个所述直线导轨，所述箱体横梁包括多个铝板件和紧固件，多个所述铝板件通过所述紧固件拼接形成箱体结构；炉门，设置于所述箱体横梁的一端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司 一种退火设备的炉门结构及退火设备
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