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除烟雾载板装置及接近式曝光机 

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申请/专利权人:苏州太阳井新能源有限公司

摘要:本实用新型提供一种除烟雾载板装置及接近式曝光机,除烟雾载板装置包括:载板,载板包括相对的第一表面及第二表面,载板为中部镂空设置,镂空设置形成镂空区域,镂空区域的四周边缘形成边缘部分,载板的第一表面被配置为承载掩膜版,在第二表面的边缘部分上,至少一侧边设置有烟雾清洁装置,烟雾清洁装置包括气口及与气口连通的气道,气口朝向承载掩模版所在的方向,烟雾清洁装置被配置为喷吹烟雾或吸附烟雾。本实用新型的除烟雾载板装置通过配置为喷吹或吸附清洁在曝光过程中产生的烟雾,避免烟雾附着于掩膜版上,造成掩膜版的污染,从而不必频繁更换掩膜版,进行清洗,影响设备产能,可以有效提升掩膜版的寿命,改善产品良率,并且结构简单。

主权项:1.一种除烟雾载板装置,其特征在于,所述除烟雾载板装置包括:载板,所述载板包括相对的第一表面及第二表面,所述载板为中部镂空设置,所述镂空设置形成镂空区域,所述镂空区域的四周边缘形成边缘部分,所述载板的第一表面被配置为承载掩膜版,在所述第二表面的边缘部分上,至少一侧边设置有烟雾清洁装置,所述烟雾清洁装置包括气口及与所述气口连通的气道,所述气口朝向承载所述掩膜版所在的方向,所述烟雾清洁装置被配置为喷吹烟雾或吸附烟雾。

全文数据:

权利要求:

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