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申请/专利权人：卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
摘要：本发明涉及一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间调节检测器的方法。根据本发明的第一实施例，基于单独图像来进行调节，并且根据第二实施例，基于重叠区域来进行调节。对于检测器调节本身，使用对比度值和或亮度值，并且可以采用迭代方法。
主权项：1.一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间均衡检测器的方法，该方法包括以下步骤：用多个初级粒子射束照射该物体，其中每个初级粒子射束以扫描的方式照射该物体的分开的单独场区域；收集相互作用产物，所述相互作用产物由于所述初级粒子射束而从该物体中发出；将所述相互作用产物投射到包含一个检测器或包含多个检测器的检测单元的检测区域上，使得从两个不同的单独场区域发出的相互作用产物被投射到不同的检测区域上，基于数据生成所述单独场区域中的每个单独场区域的单独图像，所述数据分别借助来自所述检测区域中的信号而被获得或者已被获得；确定每个单独图像的对比度值；调节所述检测单元，使得在定义的第一极限内，预先确定的多个单独图像具有相同的对比度值；以及确定每个单独图像的亮度值；以及调节所述检测单元，使得在定义的第二极限内，预先确定的多个的单独图像具有相同的亮度值，其中调节所述检测单元包括调节增益和或调节偏移，其中所有单独图像的对比度值的定义的第一极限与所选择的对比度参考值的偏差≤10％；和或其中所有单独图像的亮度值的定义的第二极限与所选择的亮度参考值的偏差≤10％，其中将亮度直方图中的高斯分布的平均值定义为每个单独图像的亮度值；和或其中将亮度直方图中的高斯分布的标准差的多倍定义为每个单独图像的对比度值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 均衡检测器的方法和系统以及计算机程序产品
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