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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

摘要：本申请涉及一种具有点墨装置的晶圆检测系统。晶圆检测系统包括：安装座、样品台、检测装置及点墨装置，安装座具有测试腔；样品台安装于安装座且位于测试腔内，样品台承载待检测晶圆且可沿第一方向及第二方向移动，以调节样品台与安装座的相对位置；检测装置安装于安装座且检测装置与样品台沿第三方向设置，检测装置包括针卡，针卡设置于样品台的一侧，用于检测待检测晶圆的参数信息；点墨装置包括高度调节机构及点墨枪，高度调节机构安装于安装座，高度调节机构安装有点墨枪，用于调节点墨枪与安装座的相对位置，以使点墨枪可沿第三方向移动，点墨枪用于对待检测晶圆进行点墨。晶圆检测系统具有较高的点墨效率。

主权项：1.一种具有点墨装置的晶圆检测系统，其特征在于，所述晶圆检测系统包括：安装座，所述安装座具有测试腔；样品台，所述样品台安装于所述安装座，且位于所述测试腔内，所述样品台用于承载待检测晶圆，所述样品台分别可沿第一方向及第二方向移动，以调节所述样品台与所述安装座的相对位置；检测装置，所述检测装置安装于所述安装座且所述检测装置与所述样品台沿第三方向设置，所述检测装置包括针卡，所述针卡设置于所述样品台的一侧且面向所述样品台，用于检测所述待检测晶圆的参数信息；以及点墨装置，所述点墨装置包括高度调节机构及点墨枪，高度调节机构安装于所述安装座且所述高度调节机构与所述检测装置间隔设置于所述样品台的同一侧，所述高度调节机构安装有所述点墨枪，用于调节所述点墨枪与所述安装座的相对位置，以使所述点墨枪可沿第三方向相对所述安装座移动，所述点墨枪用于对所述待检测晶圆进行点墨；所述晶圆检测系统还包括移动装置、第一相机、第二相机及处理装置，所述移动装置用于驱动所述样品台沿第一方向及第二方向移动；所述第一相机沿第一方向可滑动设置于所述安装座，所述第一相机用于拍摄所述待检测晶圆的第一图像，以便根据所述第一图像确定所述待检测晶圆上的故障点的第一坐标；所述第二相机用于拍摄所述点墨枪的第二图像，以根据所述第二图像得到点墨枪的第二坐标；所述处理装置分别电连接所述移动装置、第一相机及第二相机，所述处理装置用于计算所述第一坐标与所述第二坐标的坐标差，并根据所述坐标差控制所述移动装置带动所述样品台移动到第二预设位置，所述处理装置还用于控制所述点墨枪对所述样品台上的所述待检测晶圆的故障点进行点墨；其中，所述高度调节机构包括轨道件、滑动件及联动件，所述轨道件安装于所述安装座，所述滑动件可沿第三方向滑动连接所述轨道件，所述联动件分别连接滑动件及所述点墨枪，当所述滑动件沿第三方向朝向靠近或背离所述样品台的方向移动时，带动所述点墨枪朝向靠近或背离所述样品台的方向移动，从而调节所述点墨枪与所述安装座沿第三方向的相对位置；其中，所述点墨枪包括枪本体、点墨针及驱动件，所述枪本体安装于所述高度调节机构，所述点墨针安装于所述枪本体且位于所述枪本体面向所述安装座的一侧，所述点墨针可沿第四方向相对所述枪本体移动，用于对所述待检测晶圆进行点墨，所述驱动件设置于所述枪本体内，用于驱动所述点墨针相对所述枪本体沿第四方向移动，所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向及所述第四方向分别两两相交。

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