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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种化学机械抛光系统，其包括蒸汽产生器，该蒸汽产生器具有：加热元件，其对容器施加热量以产生蒸汽；开口，其将蒸汽输送至抛光垫上；第一阀，其在开口与容器之间的流体管线中；传感器，其监测蒸汽参数；及控制系统。控制系统经配置以：根据配方中的蒸汽输送排程使阀打开及关闭；接收来自传感器的蒸汽参数的测量值；接收蒸汽参数的目标值；用目标值及测量值作为输入来执行比例积分微分控制算法，从而控制第一阀和或第二释压阀和或加热元件，以使得在根据蒸汽输送排程打开阀之前测量值基本上到达目标值。
主权项：1.一种化学机械抛光系统，其包含：平台，其支撑抛光垫；承载头，其保持基板与所述抛光垫接触；电机，其产生所述平台与所述承载头之间的相对运动；蒸汽产生器，其包括：容器，具有入水口和蒸汽出口；以及加热元件，其经配置以对所述蒸汽产生器的下腔室的一部分施加热量以产生蒸汽；臂，其在所述平台上方延伸，具有经定向以将蒸汽自所述蒸汽产生器输送至所述抛光垫上的至少一个开口；第一阀，其在所述开口与所述蒸汽出口之间的流体管线中，以可控地将所述开口与所述蒸汽出口连接和断开；第二释压阀，耦接至所述开口与所述蒸汽出口之间的所述流体管线，所述第二释压阀被配置为释放蒸汽产生器的压力；传感器，其监测所述蒸汽产生器中的蒸汽参数；以及控制系统，其耦接至所述传感器、所述第一阀、所述第二释压阀以及所述加热元件，所述控制系统经配置以：根据在回收阶段和分配阶段之间交替的抛光工艺配方中的蒸汽输送排程使所述第一阀打开和关闭，所述抛光工艺配方作为数据存储于非瞬态存储设备中，自所述传感器接收所述蒸汽参数的测量值，接收所述蒸汽参数的目标值，并且用所述目标值及所述测量值作为输入执行比例积分微分控制算法，以便控制所述第二释压阀和或所述加热元件，以使得在根据所述蒸汽输送排程开始下一分配阶段并打开所述第一阀之前，所述测量值达到所述目标值，其中所述比例积分微分控制算法的多个增益值被选择以使在开始所述下一分配阶段并且打开所述第一阀从所述蒸汽产生器将蒸汽输送到所述抛光垫上之前所述测量值在所述目标值的时间最小化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 控制化学机械抛光的蒸汽产生
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