龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江蓝特光学股份有限公司
摘要：本发明提供了一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，它包括：安装台，其上安装有驱动磁场直线移动的直线滑轨模组；永磁铁，其安装在直线滑轨模组上；气浮连接板，其固定在直线滑轨模组上，所述永磁铁安装在气浮连接板上；支撑架，其中部具有让位孔，所述支撑架通过支撑杆安装在安装台上且位于永磁铁上方；所述安装台上还设置有的驱动器、容器、液压泵以及换向阀，所述支撑架的让位孔内侧开设有晶圆定向平台，所述支撑架一端开设有注入孔，所述支撑架另一端开设有回收孔。其通过直线滑轨模组将永磁铁在晶圆下方作往复运动使磁力抛光液在晶圆表面亦作往复运动，从而进行抛光工作，整个装置占地面积小，成本低，满足微结构晶圆表面抛光需求。
主权项：1.一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于，它包括：安装台，其上安装有驱动磁场直线移动的直线滑轨模组；永磁铁，其安装在直线滑轨模组上；气浮连接板，其固定在直线滑轨模组上，所述永磁铁安装在气浮连接板上；支撑架，其中部具有供晶圆安装的让位孔，所述支撑架通过支撑杆安装在安装台上且位于永磁铁上方；所述安装台上还设置有控制直线滑轨模组速度的驱动器、盛放磁力抛光液的容器、抽取磁力抛光液的液压泵以及改变液压回路流向的换向阀，所述支撑架的让位孔内侧开设有晶圆定向平台，所述支撑架一端开设有注入孔，所述支撑架另一端开设有回收孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江蓝特光学股份有限公司 一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置及其抛光方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号