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申请/专利权人：上海工程技术大学
摘要：本发明涉及一种六自由度大行程柔性微纳米末端定位平台，包括：底板；设置于底板上方的末端定位平台；以及设置于底板和末端定位平台之间的多个运动支链，每一运动支链包括：设置于底板上的水平运动柔性件机构；相对设置在水平运动柔性件机构轴线两侧的两个音圈电机机构，其与水平运动柔性件机构相连；以及球铰连杆一体件，其一端与末端定位平台活动连接，另一端与水平运动柔性件机构活动连接。与现有技术相比，本发明采用一种由三个柔性运动支链并联组成的新型柔性微纳米末端定位平台，采用三个柔性运动支链并联，分别驱动三个运动支链中的水平运动柔性件实现末端定位平台六个自由度方向上的运动，具有高刚度、高精度、低惯量等优点。
主权项：1.一种六自由度大行程柔性微纳米末端定位平台，其特征在于，包括：底板1；设置于底板1上方的末端定位平台8；以及设置于底板1和末端定位平台8之间的多个运动支链，每一运动支链包括：设置于底板1上的水平运动柔性件机构；相对设置在水平运动柔性件机构轴线两侧的两个音圈电机机构，其与水平运动柔性件机构相连；以及球铰连杆一体件7，其一端与末端定位平台8活动连接，另一端与水平运动柔性件机构活动连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海工程技术大学 一种六自由度大行程柔性微纳米末端定位平台
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