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申请/专利权人：韩商KPX化学股份有限公司
摘要：本发明提供一种用于粘附抛光垫的双面胶带以及一种应用了所述胶带的化学机械抛光设备，所述粘附胶带包括：上离型膜层；第一粘合层；胶带基底，层压在所述第一粘合层的下表面上；第二粘合层，层压在所述胶带基底的下表面上；和气泡排出图案形成片层，层压在所述第二粘合层的下表面上，并且包括在层压表面上以突出线形成的气泡排出图案。
主权项：1.一种用于粘附抛光垫的双面胶带，包括：上离型膜层；第一粘合层；胶带基底，层压在所述第一粘合层的下表面上；第二粘合层，层压在所述胶带基底的下表面上；和气泡排出图案形成片层，层压在所述第二粘合层的下表面上，并且包括在层压表面上以突出线形成的气泡排出图案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 韩商KPX化学股份有限公司 使气泡易于排出的用于粘附抛光垫的双面胶带，和使用该双面胶带的化学机械抛光设备
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