龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：大连理工大学
摘要：本发明涉及一种具有低杨氏模量、高催化活性的核壳抛光磨粒的制备方法。所述的核壳抛光磨粒呈现出明显的球形，粒径在100～130nm之间。该核壳抛光磨粒是以介孔SiO2为内核，γ‑Al2O3为中间层，CeO2为外壳的多层核壳磨粒。介孔SiO2内核使整体核壳磨粒具有较低的杨氏模量，降低了磨粒对工件表面的损伤，有利于提高抛光表面质量；γ‑Al2O3中间层的存在限制了光生载流子的重组，提升了CeO2的催化活性，有利于化学机械抛光过程中氧化层的快速形成，提高材料去除率；CeO2外壳一方面作为磨粒，可以起到去除表面氧化层的作用，另一方面也是光催化剂，在紫外光照下可以产生羟基自由基·OH氧化工件表面。使用上述核壳抛光磨粒抛光后，相比于直接使用CeO2，表面粗糙度和材料去除率显著改善。
主权项：1.一种具有低杨氏模量、高催化活性的核壳抛光磨粒的制备方法，其特征在于，以介孔SiO2为内核，γ-Al2O3为中间层，CeO2为外壳，其中介孔SiO2通过液相法合成，γ-Al2O3和CeO2通过非均匀形核法依次在介孔SiO2表面形成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连理工大学 一种具有低杨氏模量、高催化活性的核壳抛光磨粒的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号