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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本发明公开了一类含二苯乙烯结构的硫鎓盐单分子树脂型光刻胶及其制备方法和应用，其具有如下分子结构：该类材料在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性，适于制成薄膜，可以作为单组分光刻胶用于紫外、极紫外以及电子束光刻中。此外，避免了化学放大光刻胶中产酸剂以及防酸扩散剂分布不均匀、酸扩散不均匀等问题，所得到的图案具有高的分辨率和低的线边缘粗糙度。
主权项：1.式I所示化合物： 其中，Ra相同或不同，彼此独立选自氢、C1-15烷基、C1-15烷氧基、卤代C1-15烷基、卤代C1-15烷氧基；Rb相同或不同，各自独立地选自-S+RS1RS2或基团Z，所述基团Z为H、C1-15烷基、C1-15烷氧基、卤代C1-15烷基、卤代C1-15烷氧基；RS1、RS2相同或不同，各自独立地选自未取代，或任选被一个、两个或更多个RS取代的如下基团：C1-15烷基、C6-20芳基、-C1-15烷基-C6-20芳基、-C6-20芳基-C1-15烷基；RS相同或不同，彼此独立地选自氧代、硝基、氰基、C1-15烷基、C1-15烷氧基；X–为阴离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 含二苯乙烯结构的硫鎓盐单分子树脂型光刻胶及其制备方法和应用
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