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申请/专利权人：南亚科技股份有限公司
摘要：本申请提供一种存储器元件及其制备方法。该存储器元件包括：一基底、该基底上的一着陆区、该着陆区上的一底部电极，以及该底部电极上的一高k层，其中该底部电极包括设置于该着陆区上的一下部部分、该下部部分上的一中间部分，以及该中间部分上的一上部部分，并且该底部电极具有一容器形状的外形。
主权项：1.一种存储器元件，包括：一基底；一着陆区，设置于该基底上；一底部电极，设置于该着陆区上，其中该底部电极包括：一下部部分，设置于该着陆区上，其中该下部部分具有从该下部部分的一第一内侧壁到该下部部分的一第二内侧壁测量的一第一宽度；一中间部分，设置于该下部部分上，其中该中间部分具有从该中间部分的一第三内侧壁到该中间部分的一第四内侧壁测量的一第二宽度；以及一上部部分，设置于该中间部分上，其中该上部部分具有从该上部部分的一第五内侧壁到该上部部分的一第六内侧壁测量的一第三宽度，其中该第三宽度大于该第一宽度；以及一高k层，设置于该底部电极上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南亚科技股份有限公司 具有容器形状电极的存储器元件
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