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一种抛光平台修整装置 

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申请/专利权人:合盟精密工业(合肥)有限公司

摘要:本实用新型涉及硅片抛光技术领域,公开了一种抛光平台修整装置,本通过设置的可拆卸上板与下板,能够便于快速对于嵌合布置的在上板与下板之间的毛刷进行拆卸更换,有效降低整个修整装置的制造与维护成本;通过在毛刷之间设置的排屑角,可以更有效率地扫除抛光平台上的碎屑,经由设计的角度,配合抛光平台的自旋转速度,将钻石修整器削除的碎屑更快地带离平台表面,节省修整平台的时间;通过设置的安装孔,能够便于将装配后的上板与下板同安装支架或者其他设备进行配合安装。本实用新型,整体拆装更换毛刷方便,且可以适配市面上的一般毛刷,制造与日常维护成本低。

主权项:1.一种抛光平台修整装置,其特征在于:包括:上板与下板,所述上板与所述下板之间可拆卸连接;毛刷,若干个所述毛刷等间距环形嵌合布置在所述上板与所述下板之间,两两所述毛刷之间设置有相同的排屑角;安装孔,贯穿布置在所述上板与所述下板的中部。

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权利要求:

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