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申请/专利权人：上海图双精密装备有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆的手臂夹持机构，涉及到半导体技术领域，包括底盘、安装座、驱动机构、夹持臂、晶圆缓冲模块和第一滑动块，其中，底盘的一侧对称地设有两夹持臂，两夹持臂之间形成一晶圆夹持槽，底盘的一侧还设有第一滑动块，每一夹持臂的一端分别开设有一第一滑槽，第一滑动块设于第一滑槽内，底盘的一侧还设有安装座，且安装座位于两夹持臂的上端，安装座内设有两驱动机构，每一驱动机构可分别驱动一夹持臂沿第一滑动块的长度方向移动，每一夹持臂的内部分别设有一晶圆缓冲模块。本发明中，可以在夹持晶圆的过程中实现对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，可以防止夹持臂作用在晶圆上的作用力过大而导致晶圆出现碎裂现象。
主权项：1.一种晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，包括底盘、安装座、驱动机构、夹持臂、晶圆缓冲模块和第一滑动块，其中，所述底盘的一侧对称地设有两所述夹持臂，两所述夹持臂之间形成一晶圆夹持槽，所述底盘的一侧还设有所述第一滑动块，每一所述夹持臂的一端分别开设有一第一滑槽，所述第一滑动块设于所述第一滑槽内，所述底盘的一侧还设有所述安装座，且所述安装座位于两所述夹持臂的上端，所述安装座内设有两所述驱动机构，每一所述驱动机构可分别驱动一所述夹持臂沿所述第一滑动块的长度方向移动，每一所述夹持臂的内部分别设有一所述晶圆缓冲模块；还包括第二滑动块，每一所述夹持臂的一端的上侧分别设有一所述第二滑动块，所述安装座的下端设有第二滑槽，每一所述第二滑动块分别设于所述第二滑槽内；每一所述夹持臂上分别开设有一安装槽，且所述安装槽由所述夹持臂的宽度方向的一侧开设至所述夹持臂的宽度方向的另一侧，所述晶圆缓冲模块设置在所述安装槽内；还包括销钉，每一所述夹持臂的另一端分别设有一所述销钉，每一所述晶圆缓冲模块分别通过销钉固定在所述安装槽内，且每一所述晶圆缓冲模块均可绕一所述销钉旋转。
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百度查询： 上海图双精密装备有限公司 一种晶圆的手臂夹持机构
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