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申请/专利权人：鹰港科技有限公司
摘要：公开一种高电压功率系统。在一些实施例中，所述高电压功率系统包括：高电压脉冲发生电源；变压器，其与所述高电压脉冲发生电源电耦合；输出，其与所述变压器电耦合，并且配置为输出具有大于1kV的幅度和大于1kHz的频率的高电压脉冲；和偏置补偿电路，其布置为与所述输出并联。在一些实施例中，所述偏置补偿电路可以包括：阻流二极管；和DC电源，其布置为与所述阻流二极管串联。
主权项：1.一种高电压功率系统，包括：高电压脉冲发生电源，所述高电压脉冲发生电源包括多个开关和变压器；所述高电压脉冲发生电源配置为输出具有大于1kV的幅度和大于1kHz的频率的高电压脉冲；和偏置补偿电路，其布置为与所述高电压脉冲发生电源并联，所述偏置补偿电路包括：偏置补偿二极管；和DC电源，其布置为与所述偏置补偿二极管串联；设置在等离子体腔室中的电极，其中，所述电极与所述高电压脉冲发生电源电耦合，所述电极与所述偏置补偿电路电耦合，并且，当等离子体在所述等离子体腔室中形成时所述电极与所述等离子体以电容方式电耦合。
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