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申请/专利权人:广东风华高新科技股份有限公司
摘要:本发明公开了一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法,涉及陶瓷晶粒分析方法。包括将MLCC沿长轴或短轴固封在磨台,并机械抛磨至有效电极区域;所得样品进行离子刻蚀;随后浸于酸溶液中进行酸蚀;取出后用水冲洗磨台表面。本发明提供了一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法,与传统的单纯酸腐蚀或热腐蚀表征陶瓷晶粒相比,本发明所述方法对样品抛面预先进行了离子刻蚀处理,离子刻蚀有效去除因抛磨而延展的Ni内电极和钛酸钡陶瓷晶粒,在酸腐蚀前,使钛酸钡晶粒的晶界充分暴露,提升了后续酸腐蚀的效果,陶瓷晶粒轮廓明显,晶界腐蚀完全,解决目前分析MLCC钛酸钡陶瓷晶粒形貌和粒径的不足之处。
主权项:1.一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法,其特征在于,包括以下步骤:1将MLCC沿长轴或短轴固封在磨台,并机械抛磨至有效电极区域;2对步骤1所得样品进行离子刻蚀;3将步骤2的样品浸于酸溶液中进行酸蚀;4将步骤3的样品取出后用水冲洗磨台表面;在步骤2中,离子刻蚀的离子枪角度为1°-10°,电压为2kv-8kv,时间为2h-4h;在步骤3中,所述酸溶液包括HCl和HNO3,所述酸溶液包括HCl、HNO3和水按体积比为1:1:1-5的比例混合,所述酸蚀时间为5-20min。
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百度查询: 广东风华高新科技股份有限公司 一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法
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