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申请/专利权人：阿自倍尔株式会社
摘要：本发明涉及一种利用蛇行形状的AMR各向异性磁阻元件检测角度的AMR角度传感器的设计方法、AMR角度传感器的生产方法以及AMR角度传感器。在抑制角度检测误差的同时，使AMR元件变厚和或使AMR元件的线宽变细。本发明的AMR角度传感器的设计方法是利用蛇行形状的AMR各向异性磁阻元件检测角度的AMR角度传感器的设计方法，具有在将所述AMR角度传感器的角度检测最大误差为期望值的所述AMR角度传感器的各向异性磁场强度的值作为上限值的范围内，确定所述AMR元件的膜厚和线宽的确定步骤。
主权项：1.一种利用蛇行形状的AMR元件检测角度的AMR角度传感器的设计方法，所述AMR指各向异性磁阻，其特征在于，具有在将所述AMR角度传感器的角度检测最大误差为期望值的所述AMR角度传感器的各向异性磁场强度的值作为上限值的范围内，确定所述AMR元件的膜厚和线宽的确定步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阿自倍尔株式会社 AMR角度传感器的设计方法、生产方法及AMR角度传感器
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