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申请/专利权人：西南交通大学
摘要：本发明提供了三维双层悬空纳米结构制备方法，操作简单，绿色环保，成本低，吞吐量高，采用等离子体辅助纳米转移印刷技术，可实现双层悬空纳米结构的一次性制备，且无需额外的粘附层。本发明还提供了三维双层悬空纳米结构，其具有独特的三维双层悬空结构，具备高比表面积，展现出巨大的应用潜力。
主权项：1.双层悬空三维纳米结构制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、纳米压印：先在具有纳米柱的底模上涂覆压印胶，并在所述压印胶的另一侧覆盖高分子薄膜，将与所述底模的纳米柱结构互补的纳米孔结构压印复制到所述压印胶上，使得所述压印胶形成相应的纳米孔结构，得到模板；S2、UV固化：采用UV，对所述模板进行曝光，使得所述压印胶完全聚合并固化，形成具有纳米孔的压印胶层；S3、形成双层三维纳米结构：将所述底模与经步骤S2处理的所述模板分离，得到高分子模板，所述高分子模板包括有高分子薄膜，以及位于所述高分子薄膜一侧的具有纳米孔的压印胶层，再采用镀膜机，在真空条件下沉积金属，形成位于所述纳米孔内的金属颗粒层与位于所述压印胶层另一侧的金属孔层，所述金属颗粒层与所述金属孔层组成双层纳米结构；S4、等离子刻蚀：采用等离子刻蚀经步骤S3处理的所述高分子模板的压印胶，减弱压印胶层之间的共价键结合力，得到具有双层三维纳米结构的高分子模板，所述经等离子刻蚀的压印胶、所述金属颗粒层与所述金属孔层组成所述双层三维纳米结构；S5、纳米转移印刷：将步骤S4所述具有双层三维纳米结构的高分子模板放置在衬底上，再采用热纳米压印机，在一定的压力与温度条件下持续一段时长对所述具有双层三维纳米结构的高分子模板进行纳米转移印刷；S6、分离：将步骤S5处理的所述具有双层三维纳米结构的高分子模板与所述衬底分离，得到具有双层悬空三维纳米结构的衬底。
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权利要求：
百度查询： 西南交通大学 双层悬空三维纳米结构制备方法及双层悬空三维纳米结构
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