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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明实施例提供了一种调度模型的训练方法，该方法包括：获取多组训练数据，每组训练数据包括：多个第一状态信息和多个第一预测动作信息，其中，第一状态信息用于描述不同位置上的物料分别从所对应的当前位置完成多道工序且回到作业完成位置所需要的时长，第一预测动作信息用于描述物料下一步执行的工序；对于每一组训练数据，根据半导体工艺设备执行第一预测动作信息的执行结果和第一状态信息，确定反馈信息；根据反馈信息，从多组训练数据中筛选目标训练数据；根据目标训练数据，训练预设调度模型，直至预设调度模型满足训练停止条件，得到训练好的目标调度模型。
主权项：1.一种调度模型的训练方法，应用于半导体工艺设备，其特征在于，所述半导体工艺设备加工至少一个物料，所述每一个所述物料对应多道工序，所述方法包括：获取多组训练数据，每组所述训练数据包括：多个第一状态信息和多个第一预测动作信息，其中，所述第一状态信息用于描述不同位置上的所述物料分别从所对应的当前位置完成所述多道工序且回到作业完成位置所需要的时长，所述第一预测动作信息用于描述所述物料下一步执行的工序；对于每一组所述训练数据，根据所述半导体工艺设备执行所述第一预测动作信息的执行结果和所述第一状态信息，确定反馈信息；根据所述反馈信息，从所述多组训练数据中筛选目标训练数据；根据所述目标训练数据，训练预设调度模型，直至所述预设调度模型满足训练停止条件，得到训练好的目标调度模型。
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权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 调度模型的训练方法、物料调度方法和半导体工艺设备
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