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申请/专利权人：株式会社东芝
摘要：本实施方式提供一种光学检查方法以及存储介质、以及光学检查装置，光学检查方法具备：将明暗周期性地变化的第1基本调制模式的第1图案光投影于物体；对投影有第1图案光的物体进行摄像而获取第1图像；将明暗相对于第1基本调制模式反转的第1反转调制模式的第2图案光投影于物体；对投影有第2图案光的物体进行摄像而获取第2图像；以及生成至少基于第1图像和第2图像抽取的强调了进行特异的光散射的特异区域的特异光散射图像。
主权项：1.一种光学检查方法，包括：将明暗周期性地变化的第1基本调制模式的第1图案光投影到物体；对投影有所述第1图案光的所述物体进行摄像而获取第1图像；将明暗相对于所述第1基本调制模式反转的第1反转调制模式的第2图案光投影到所述物体；对投影有所述第2图案光的所述物体进行摄像而获取第2图像；以及生成至少基于所述第1图像和所述第2图像抽取的强调了进行特异的光散射的特异区域的特异光散射图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社东芝 光学检查方法及存储介质以及使用了该光学检查方法的光学检查装置
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