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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要：一种用于光学元件亚表面缺陷检测的微型大视场超分辨显微成像装置，包括光纤激光器、单模保偏光纤、偏振控制器、1×4MEMS光开关、两个1×2光纤耦合器、5个光纤准直头、大视场显微物镜、成像透镜、科学相机、工作台和精密位移平台，本发明在实现超分辨显微成像的过程中，将极大地缩小装置的体积，且最大程度的提升超分辨检测系统的分辨率和检测效率，同时具备优良的可移植性，可方便地嵌入到被检系统中。
主权项：1.一种用于光学元件亚表面缺陷检测的微型大视场超分辨显微成像装置，其特征在于，包括光纤激光器1、单模保偏光纤2、偏振控制器3、1×4MEMS光开关4、两个1×2光纤耦合器5、5个光纤准直头6、大视场显微物镜7、成像透镜8、科学相机9、工作台10、精密位移平台11，所述的5个光纤准直头6通过机械固定装置固定在所述的工作台10上，5个光纤准直头6分别输出对应水平余弦结构照明、竖直余弦结构照明和普通宽场照明光，通过所述的工作台10上的观察孔对称地照射在所述的精密位移平台11上的样品表面形成干涉，在所述的观察孔的正上方自下而上依次设置所述的大视场显微物镜7、成像透镜8和科学相机9，所述的光纤激光器1输出的激光通过所述的单模保偏光纤2经所述的偏振控制器3进行激光偏振态及初始相位的调整，再经过所述的1×4MEMS光开关4分为00、900、600三种激光通过光纤输出，所述的00、900激光各经一个1×2光纤耦合器等比分为二束，通过所述的光纤准直头6将两束照明激光经工作台观察孔对称地照射在所述的样品表面进行干涉，所述的600激光直接通过所述的光纤准直头6经工作台观察孔照射在所述的样品表面，分别形成水平余弦结构照明、竖直余弦结构照明和普通宽场照明光；所述的大视场显微物镜7用以接收所述结构照明光经样品表面调制后的散射光，通过所述的成像透镜8在科学相机9中完成最终散射成像信号收集。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 微型大视场超分辨显微成像装置
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