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防护膜组件、曝光原版和曝光装置、以及防护膜组件的制造方法和掩模用粘着剂层的试验方法 

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申请/专利权人:三井化学株式会社

摘要:本发明涉及具有配置防护膜11的框体12和配置于框体12的掩模用粘着剂层13的防护膜组件,当对以预定的接触面积A1与石英制掩模4接触的粘着剂层13实施水洗试验时,粘着剂层13的去除率{水洗试验前的接触面积A1‑水洗试验后的接触面积A2水洗试验前的接触面积A1}为80%以上。

主权项:1.一种防护膜组件,具有配置防护膜的框体和配置于所述框体的掩模用粘着剂层,当对以预定的接触面积A1与石英制掩模接触的所述粘着剂层实施水洗试验时,所述粘着剂层的去除率即所述水洗试验前的所述接触面积A1-所述水洗试验后的接触面积A2所述水洗试验前的所述接触面积A1为80%以上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三井化学株式会社 防护膜组件、曝光原版和曝光装置、以及防护膜组件的制造方法和掩模用粘着剂层的试验方法

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