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申请/专利权人：安徽易芯半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶硅生产的观察监测装置，涉及单晶硅生产技术领域，包括：法兰管和设于法兰管一侧的工业相机，法兰管，包括：第一管体和穿插于第一管体内的第二管体，第一管体和第二管体之间设有第一间隙，且第一管体一侧分别设有进水口和出水口，进水口和出水口分别与第一间隙连通；第二管体内分别设有第一石英玻璃和第二石英玻璃，第一石英玻璃和第二石英玻璃之间设有第二间隙，且第二管体一侧分别设有进液口和出液口，进液口和出液口分别与第二间隙连通。有益效果：可保持稳定温度，而且降低观察口炸裂的几率，同时通过采用工业相机配合第一石英玻璃和第二石英玻璃可实时采集炉内的物料的状态进行实时监测，提高生产效率。
主权项：1.一种用于单晶硅生产的观察监测装置，其特征在于，包括：法兰管1和设于所述法兰管1一侧的工业相机2，其中；所述法兰管1，包括：第一管体3和穿插于所述第一管体3内的第二管体4，所述第一管体3和所述第二管体4之间设有第一间隙5，且所述第一管体3一侧分别设有进水口6和出水口7，所述进水口6和所述出水口7分别与所述第一间隙5连通；所述第二管体4内分别设有第一石英玻璃8和第二石英玻璃9，所述第一石英玻璃8和所述第二石英玻璃9之间设有第二间隙10，且所述第二管体4一侧分别设有进液口11和出液口12，所述进液口11和所述出液口12分别与所述第二间隙10连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽易芯半导体有限公司 一种用于单晶硅生产的观察监测装置
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