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申请/专利权人：上海松尚集芯半导体科技有限公司

摘要：本实用新型公开了一种自循环纯水加热系统，涉及半导体技术领域。本实用新型包括柜体，柜体内安装有第一纯水存储罐、第二纯水存储罐、第一加热器、第二加热器；从厂务流过的水为常流水，柜体内部设计有纯水储存罐，存储罐底部外接了流体泵，可以把常流纯水循环存储，不会造成常流水的浪费，节省纯水成本；采用加热到温度以后才会给机台输送，减少了在加热过程中纯水的浪费；纯水加热器加热到所需温度也需要一定的时间，故起初流过的纯水温度达不到主机台需要的温度，纯水储存罐可以把纯水存储，并通过流体泵再循环流过纯水加热器继续加热，不会造成在加热过程中的纯水的浪费；采用两套独立的加热系统，节省工作时间；检修和使用方便。

主权项：1.一种自循环纯水加热系统，包括柜体9，其特征在于，所述柜体9内安装有第一纯水存储罐1、第二纯水存储罐2、第一加热器3、第二加热器4；供应的纯水由纯水端入口111经带有第二手阀110的管路分别与第一纯水存储罐1、第二纯水存储罐2上部相连，所述第二手阀110与第一纯水存储罐1之间的管路上设有第一二通阀109，所述第二手阀110与第二纯水存储罐2之间的管路上设有第二二通阀209；所述第一纯水存储罐1上部、第二纯水存储罐2上部分别经带有第一三通阀302、第二三通阀402的管路与第三流量传感器210相连，第三流量传感器210经管路与纯水出口管211相连；所述第一纯水存储罐1上部、第二纯水存储罐2上部分别通过管道与废气排放收集箱5相连；所述第一纯水存储罐1下部与第一加热器3下部之间通过带有第一流体泵103、第一手动调节流量阀105、第一流量传感器106、第三温度传感器107的管路相连；所述第二纯水存储罐2下部与第二加热器4下部之间通过带有第二流体泵203、第二手动调节流量阀205、第二流量传感器206、第五温度传感器207的管路相连；所述第一纯水存储罐1、第二纯水存储罐2的底部还分别通过第三二通阀104、第四二通阀204与下方带有废液排放管601的废液排放盒6相连；所述第一加热器3上部通过管路与废气排放收集箱5相连，并且还通过带有第四温度传感器301的管路与第一三通阀302相连；所述第二加热器4上部通过管路与废气排放收集箱5相连，并且还通过带有第六温度传感器401的管路与第二三通阀402相连；所述废气排放收集箱5上设有废气排出口501。

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