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申请/专利权人：上海晶世创新材料科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种可升降样品台及微波等离子体化学气相沉积系统，涉及微波等离子体化学气相沉积相关领域。可升降样品台包括样品台，样品台中设有多个置物空间和多个升降机构，各升降机构分别设于各置物空间中。各升降机构均包括升降件，升降件上设有样品基板，样品基板用于放置样品；各升降机构均还包括冷却管路、进液管路和出液管路。冷却管路设于升降件与样品基板之间。进液管路一端与冷却管路连通，另一端沿升降件延伸并外接冷却循环装置。出液管路一端与冷却管路连通，另一端沿升降件延伸并外接冷却循环装置。上述设置，使得样品在生长的过程中，实验人员可以通过控制升降机构和冷却循环装置，对样品的生长速率进行调控，并避免不同晶种之间的碰撞。
主权项：1.一种可升降样品台，其特征在于：包括样品台1，所述样品台1中设有多个置物空间11和多个升降机构2，各所述升降机构2分别设于各所述置物空间11中；各所述升降机构2均包括升降件21，所述升降件21上设有样品基板22，所述样品基板22用于放置样品；各所述升降机构2均还包括冷却管路31、进液管路32和出液管路33；所述冷却管路31设于所述升降件21与所述样品基板22之间；所述进液管路32一端与所述冷却管路31连通，另一端沿升降件21延伸并外接冷却循环装置；所述出液管路33一端与所述冷却管路31连通，另一端沿升降件21延伸并外接冷却循环装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海晶世创新材料科技有限公司 一种可升降样品台及微波等离子体化学气相沉积系统
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