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申请/专利权人：西安澳秦新材料有限公司

摘要：本发明公开了一种氮化硅基板生产抛光装置，具体涉及氮化硅基板生产技术领域，包括装置基座，所述装置基座的顶端固定安装有第一架，所述第一架的顶端固定安装有直线电轨，所述直线电轨的驱动端固定安装有底抛机构，所述装置基座的顶端一侧固定安装有第二架，所述第二架上固定安装有第一升降气缸，本发明，通过设置底抛机构，配合使用顶抛机构，带动多个抛光卡框在多个第一卡柱和多个第二卡柱之间进行同步自转，配合底抛盘的转动带动进液管、顶抛盘同步转动，对多个抛光卡框中的氮化硅基板下表面以及上表面进行自动同步抛光加工，提升氮化硅基板的抛光效果和氮化硅基板的整体加工效率。

主权项：1.一种氮化硅基板生产抛光装置，包括装置基座（1），其特征在于：所述装置基座（1）的顶端固定安装有第一架（11），所述第一架（11）的顶端固定安装有直线电轨（2），所述直线电轨（2）的驱动端固定安装有底抛机构（3），所述装置基座（1）的顶端一侧固定安装有第二架（12），所述第二架（12）上固定安装有第一升降气缸（13），所述第一升降气缸（13）的驱动端固定安装有顶抛机构（4），所述装置基座（1）顶端远离第二架（12）的一侧固定安装有第三架（14），所述第三架（14）的顶端固定安装有上料机构（5）；所述底抛机构（3）包括对称分布的两个第四架（31），所述第四架（31）固定安装在直线电轨（2）的驱动端，所述第四架（31）的顶部转动安装有翻转轴（32），两个所述翻转轴（32）之间固定安装有旋转框（33），所述旋转框（33）的中部转动安装有外环框（34），所述外环框（34）的内侧底部固定卡设有底抛盘（35），所述底抛盘（35）的中部转动安装有中转框（36），所述底抛盘（35）的顶端外侧固定安装有环形阵列分布的多个第一卡柱（351），所述中转框（36）的顶端外侧固定安装有环形阵列分布的多个第二卡柱（361），多个所述第一卡柱（351）和多个第二卡柱（361）之间设有环形阵列分布的多个抛光卡框（37），多个所述抛光卡框（37）活动卡接在对应第一卡柱（351）、第二卡柱（361）的外侧，多个所述第一卡柱（351）的底部固定卡设有底垫外环（352），多个所述第二卡柱（361）的底部固定卡设有底垫内环（362），所述抛光卡框（37）的下表面和底垫外环（352）、底垫内环（362）的上表面接触，多个所述第一卡柱（351）的中部可拆卸安装有顶限外环（353），多个所述第二卡柱（361）的中部可拆卸安装有顶限内环（363），所述抛光卡框（37）的上表面和顶限外环（353）、顶限内环（363）的下表面接触；所述顶抛机构（4）包括顶抛框（41），所述顶抛框（41）固定安装在第一升降气缸（13）的驱动端，所述顶抛框（41）的中部转动安装有进液管（42），所述进液管（42）的底部固定安装有顶抛盘（43），所述顶抛盘（43）活动卡接在外环框（34）的内侧顶部，所述顶抛盘（43）中开设有缓液腔（401），所述顶抛盘（43）的底端开设有均匀分布的多个排液穿孔（402），多个所述排液穿孔（402）和缓液腔（401）相互连通，所述顶抛盘（43）的底端外侧开设有和第一卡柱（351）对应的卡固槽（403），所述第一卡柱（351）的顶部活动卡接在对应的卡固槽（403）中，所述进液管（42）的顶端固定卡设有密封转动件（44），所述密封转动件（44）的中部固定安装有连接头（45）。

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