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申请/专利权人：国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司

摘要：本发明提供一种CCD定点定位微通道有机薄膜材料沉积系统,属于定点定位技术领域，包括：配置模块：根据微通道预设结构，确定微通道的目标检测位置，之后基于安装手册和目标检测位置完成CCD定点装置和参数采集装置的配置；图像生成模块：获取目标检测位置的原始图像，并将原始图像映射到标准坐标系中，生成定点坐标系图像；异常分析模块：基于定点坐标系图像，完成特征分析，获取坐标系图像中的异常特征像素坐标点，并标记为材料沉积区域；偏差分析模块：将材料沉积区域与真实材料沉积的区域进行对比，获取CCD定点分析的偏差程度，并且基于偏差程度对CCD定点装置的中心检测点进行调整。具有高精度定位,能够提高识别效率，保证微通道质量。

主权项：1.一种CCD定点定位微通道有机薄膜材料沉积系统，其特征在于，包括：配置模块：根据微通道预设结构，确定微通道的目标检测位置，之后基于安装手册和目标检测位置完成CCD定点装置和参数采集装置的配置；图像生成模块：基于CCD定点装置和参数采集装置获取目标检测位置的原始图像，并且将原始图像预处理后映射到标准坐标系中，生成定点坐标系图像；包括：图像获取单元：基于预设焦距，获取CCD定点装置的第一原始图像，基于参数采集装置获取的基本参数在基本参数-图像标准映射表中匹配对应图像标准，根据所述图像标准对第一原始图像进行第一处理得到第二图像；图像标准化单元：将第二图像灰度处理得到灰度图像，将第一原始图像的色彩分布作为标准分布来与所述灰度图像的灰度分布进行对比，获取到所述灰度图像中灰度不均的边缘区域，利用直方图均衡法将边缘区域调整，得到第三图像；坐标系映射单元：将第三图像按照坐标转换关系映射到标准坐标系中，具体为： ；其中，表示任一像素点的映射横坐标，表示任一像素点的映射纵坐标，表示对应像素点的横向灰度值，表对应像素点的纵向灰度值，表示映射函数，m表示CCD定点装置的预设焦距，表示基于坐标转换关系确定的映射比例，表示横向增益函数，表示纵向增益函数，表示参考矩阵的逆矩阵，表示点积，表示CCD定点装置预设拍摄角度；根据标准坐标系结合第三图像的所有像素点，生成定点坐标系图像；异常分析模块：基于定点坐标系图像，完成特征分析，获取坐标系图像中的异常特征像素坐标点，并标记为材料沉积区域；包括：第一特征单元：基于历史图像特征库，提取有机薄膜材料沉积的所有第一特征图像；第二特征单元：将定点坐标系图像的任一像素点作为中心点，获取所述中心点分别与8个周围像素点的坐标距离响应值； ；其中，表示中心点和第i个周围像素点的坐标距离响应值，表示响应函数，表示中心点和第i个周围像素点的标准响应值，表示第i个像素点的最低响应值，ln表示对数函数，表示周围像素点距离坐标原点的距离最大值，表示第i个周围像素点距离坐标原点的距离，表示第i个周围像素点的坐标，表示中心点的坐标；将中心点和周围像素点的坐标距离响应值一一与边角阈值对比后，保留与所述边角阈值绝对差值最小的周围像素点作为角点；将所述定点坐标系图像的所有像素点处理后的角点构成的图像作为第二特征图像；区域标记单元：将第二特征图像的所有角点标记为异常特征像素坐标点，并将所有角点根据拓扑关系分区处理，获取若干异常分区区域；区域匹配单元：将每个异常分区区域分别与第一特征图像进行匹配；若存在匹配度大于预设度的区域，将对应区域标记为材料沉积区域；若每个区域的匹配度都不大于预设度，则判定目标检测位置不存在材料沉积；偏差分析模块：将材料沉积区域与真实材料沉积的区域进行对比，获取CCD定点分析的偏差程度，并且基于偏差程度对CCD定点装置的中心检测点进行调整。

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