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申请/专利权人:武汉正源高理光学有限公司
摘要:本发明提供了一种在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法和光学器件,涉及光学膜系技术领域。本发明提供的在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法包括以下步骤:采用磁控溅射在不锈钢衬底表面依次层叠沉积CrNO膜、CrN膜和Cr2O3膜;所述CrNO膜的厚度为所述磁控溅射沉积CrNO膜在Ar‑N2‑CO2混合气体气氛中进行,所述Ar、N2和CO2的气体流量比例为5~6:1:1;所述Ar的气体流量为25~35sccms。本发明通过对CrNO膜膜层成分和厚度的设置促使膜层和金属不锈钢衬底紧密结合,确保光刻制图对精细度的要求,具备特征尺寸<1μm的图案加工能力。
主权项:1.一种在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:采用磁控溅射在不锈钢衬底表面依次层叠沉积CrNO膜、CrN膜和Cr2O3膜;所述CrNO膜的厚度为800~1200Å;所述磁控溅射沉积CrNO膜在Ar-N2-CO2混合气体气氛中进行,所述Ar、N2和CO2的气体流量比例为(5~6):1:1;所述Ar的气体流量为25~35sccms;所述Cr2O3膜的厚度为500~1000Å;所述磁控溅射沉积Cr2O3膜时,阴极靶材为Cr靶;所述磁控溅射沉积Cr2O3膜在Ar-N2-CO2混合气体气氛中进行,所述Ar、N2和CO2的气体流量比例为1:1:(4~5);所述磁控溅射沉积Cr2O3膜时Ar的气体流量为25~35sccms。
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