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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明公开了一种氧化镍电致变色复合薄膜及其制备方法与应用。所述氧化镍电致变色复合薄膜包括叠层设置的氧化镍层及非晶氧化锌锡缓冲层；其中，所述氧化镍层具有结晶纳米柱状结构，且所述结晶纳米柱状结构的直径为10～100nm；所述氧化镍电致变色复合薄膜的电荷容量为6.0～12.0mC·cm‑2。本发明制备的氧化镍电致变色复合薄膜具有较好的光学调制幅度、循环稳定性以及较高的电荷容量，在低温镀膜的柔性电致变色器件中有很好地应用前景。
主权项：1.一种氧化镍电致变色复合薄膜，其特征在于，包括叠层设置的氧化镍层及非晶氧化锌锡缓冲层；其中，所述氧化镍层具有结晶纳米柱状结构，且所述结晶纳米柱状结构的直径为10~100nm；所述氧化镍电致变色复合薄膜的电荷容量为6.0~12.0mC·cm-2；所述氧化镍电致变色复合薄膜的制备方法包括：提供设置有透明导电层的衬底；其中，所述衬底的材质选自PET或PVC；采用磁控溅射技术，以氧化镍靶为靶材，在所述透明导电层的表面沉积形成氧化镍层；其中，所述氧化镍靶为共掺杂的氧化镍靶；所述共掺杂的氧化镍靶选自Li、Si共掺杂的氧化镍靶或Sn、Ta、Nb分别与W共掺杂的氧化镍靶；所述磁控溅射技术采用的衬底温度为25~150℃；以及，采用磁控溅射技术，以氧化锌锡靶为靶材，在所述氧化镍层的表面沉积形成非晶氧化锌锡缓冲层，从而获得氧化镍电致变色复合薄膜；其中，所述磁控溅射技术采用的衬底温度为25~150℃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种氧化镍电致变色复合薄膜及其制备方法与应用
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