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一种电磁研磨盘基座 

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申请/专利权人:上海致领半导体科技发展有限公司

摘要:本发明公开了一种电磁研磨盘基座,包括零件、研磨盘、螺丝、凹口座、电磁吸盘、连接盘、主轴、调节口、防导插杆和安装机构,零件紧固安装于研磨盘上,研磨盘上螺纹安装有螺丝,本发明通过优化设置了电磁吸盘和安装机构,隔绝座上电磁圈采用电磁力与零件吸引配合,配合提升研磨精度,加工效率高;将防导插杆嵌入安装机构,安装机构内设有侧卡板限制防导插杆底端结构向上位移,在解除后,防导插杆底端第二弹簧将其托起,组合安装时灵活拆卸,使用效果好。

主权项:1.一种电磁研磨盘基座,包括零件1、研磨盘2、螺丝3、凹口座4、电磁吸盘5、连接盘6、主轴7、调节口8和防导插杆9,所述零件1紧固安装于研磨盘2上,所述研磨盘2上螺纹安装有螺丝3,所述凹口座4预制安装于研磨盘2上,所述电磁吸盘5底端紧固安装有连接盘6,所述连接盘6底端转动安装有主轴7,所述调节口8位于研磨盘2下方,所述防导插杆9顶端装设于调节口8下方;其特征在于:还包括安装机构10,所述安装机构10组合安装于调节口8底端,所述安装机构10包括顶动杆1001、壳体1002、导槽1003、安装板1004、第一弹簧1005、斜杆1006、侧卡板1007、第二弹簧1008和位移座1009,所述顶动杆1001底端与斜杆1006铰链连接,所述壳体1002内侧壁上预制设有导槽1003,所述安装板1004与斜杆1006相铰接,所述安装板1004底端与第一弹簧1005弹性连接,所述斜杆1006右侧转动安装有侧卡板1007,所述第二弹簧1008顶端与位移座1009弹性连接,所述位移座1009上紧固安装有防导插杆9。

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