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申请/专利权人：ams传感器亚洲私人有限公司
摘要：一种垂直腔表面发射激光VCSEL设备，包括内部光生成区域、外部光发射表面和与所述内部光生成区域单片集成的空间调制区域，使得所述空间调制区域位于所述内部光生成区域和所述外部光发射表面之间。所述空间调制区域被配置为在所述生成的光从所述外部光发射表面发射之前对由所述内部光生成区域生成的所述光进行整形。所述VCSEL设备可以被配置为沿着预定方向发射光束，发射具有预定波束发散的光束，和或发射具有横向于传播方向的预定形状或结构的光束，使得所述光束在投射到表面上时形成预定的光斑或光图案。还公开了多个VCSEL设备和用于制造VCSEL设备的方法。
主权项：1.多个VCSEL设备，包括基板，其中每个VCSEL设备都在所述基板上形成或与所述基板单片集成，每个VCSEL设备包括：对应的内部光生成区域；对应的外部光发射表面；以及对应的空间调制区域，与所述对应的内部光生成区域单片集成，使得所述对应的空间调制区域位于所述对应的内部光生成区域和所述对应的外部光发射表面之间，其中所述对应的空间调制区域被配置为在生成的光从所述对应的外部光发射表面发射之前，对由所述内部光生成区域生成的所述生成的光进行整形；其中每个VCSEL设备的空间调制区域定义背离所述对应的内部光生成区域的对应外表面，其中每个VCSEL设备的所述空间调制区域的所述对应外表面具有对应的不平坦轮廓，并且其中所述VCSEL设备中的至少两个VCSEL设备的所述空间调制区域的所述外表面的所述轮廓不同，使得所述多个VCSEL设备中的至少两个发射不同形状的光束；其中每个VCSEL设备的所述对应的空间调制区域的所述外表面的所述轮廓被构造为发射对应的整形波束，使得所述多个VCSEL设备发射多个组合或叠加的整形波束，以提供远场中期望的或预定的波束图案或光强度分布。
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