龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社LG化学
摘要：本发明涉及用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法，所述用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物具有优异的光致抗蚀剂剥离力，并且可以在剥离过程期间抑制下部金属层的腐蚀并有效地除去氧化物。所述剥离剂组合物包含：其中氮经1至2个碳数为1至5的线性或支化烷基取代的酰胺化合物；胺化合物；极性有机溶剂；水合肼；和基于三唑的化合物。
主权项：1.一种用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物，包含：20重量％至30重量％的其中氮经1至2个碳数为1至5的线性或支化烷基取代的酰胺化合物；1重量％至5重量％的胺化合物，其中所述胺化合物包括选自以下中的一种或更多种化合物：1-咪唑烷乙醇、4-咪唑烷乙醇、羟乙基哌嗪和氨乙基哌嗪；30重量％至50重量％的极性有机溶剂，其中所述极性有机溶剂包括选自以下中的一者或更多者：亚烷基二醇单烷基醚、吡咯烷酮、砜和亚砜；0.05重量％至5重量％的水合肼；0.05重量％至1.0重量％的基于三唑的化合物；和剩余量的水，其中所述剥离剂组合物中各组分的含量百分数之和等于100重量％，其中：所述其中氮经1至2个碳数为1至5的线性或支化烷基取代的酰胺化合物包括以下化学式1的化合物：[化学式1] 在所述化学式1中，R1为氢、甲基、乙基或丙基，R2为甲基或乙基，R3为氢或者碳数为1至5的线性或支化烷基，以及R1和R3任选地彼此连接以形成环，所述基于三唑的化合物包括选自以下中的一种或更多种化合物：2,2’[[甲基-1H-苯并三唑-1-基甲基]亚氨基]双乙醇、4,5,6,7-四氢-1H-苯并三唑、1H-苯并三唑、1H-1,2,3-三唑和甲基1H-苯并三唑，基于100重量份的所述胺化合物，所述剥离剂组合物以1重量份至100重量份的量包含所述水合肼。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社LG化学 用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号