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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明的电功率供给系统包括：电功率分配单元；与所述电功率分配单元连接的多个供电设备；多个半导体制造系统，各个半导体制造系统包括多个基片处理腔室、和能够以无线的方式从所述多个供电设备中的任一个供电设备接收电功率的受电设备；和控制部，其能够基于所述多个半导体制造系统中的各个半导体制造系统的电功率的使用状况，控制所述电功率分配单元以使得对从所述电功率分配单元经由所述多个供电设备供给至所述多个半导体制造系统中的各个半导体制造系统的最大有效电功率进行调节。
主权项：1.一种电功率供给系统，其特征在于，包括：电功率分配单元；与所述电功率分配单元连接的多个供电设备；多个半导体制造系统，各个半导体制造系统包括多个基片处理腔室、和能够以无线的方式从所述多个供电设备中的任一个供电设备接收电功率的受电设备；和控制部，其能够基于所述多个半导体制造系统中的各个半导体制造系统的电功率的使用状况，控制所述电功率分配单元以使得对从所述电功率分配单元经由所述多个供电设备供给至所述多个半导体制造系统中的各个半导体制造系统的最大有效电功率进行调节。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 对半导体制造系统组供给电功率的电功率供给系统
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