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层叠体、层叠体的制造方法、中空结构体及电子零件 

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申请/专利权人:东丽株式会社

摘要:提供一种高温高湿条件下的保存时的布线腐蚀少的层叠体。一种层叠体,为在压电体基板上依次形成有厚度为0.1μm~5μm的金属布线M1、膜厚为0.5μm~4μm的有机绝缘膜P1的浮雕图案、以及厚度为0.1μm~5μm的金属布线M2的层叠体,所述有机绝缘膜P1含有使包含碱可溶性树脂A、与萘醌二叠氮化合物E的感光性树脂组合物硬化而获得的硬化物,相对于所述碱可溶性树脂A100质量份,所述萘醌二叠氮化合物E的含量为5质量份~25质量份,在利用离子溶出量的测定方法对所述有机绝缘膜P1进行测定时,离子溶出量为2000ppm以下。

主权项:1.一种层叠体,为在压电体基板上依次形成有厚度为0.1μm~5μm的金属布线M1、膜厚为0.5μm~4μm的有机绝缘膜P1的浮雕图案、以及厚度为0.1μm~5μm的金属布线M2的层叠体,所述有机绝缘膜P1含有使包含碱可溶性树脂A、与萘醌二叠氮化合物E的感光性树脂组合物硬化而获得的硬化物,相对于所述碱可溶性树脂A100质量份,所述萘醌二叠氮化合物E的含量为5质量份~25质量份,在利用下述离子溶出量的测定方法对所述有机绝缘膜P1进行测定时,离子溶出量为2000ppm以下;离子溶出量的测定方法将有机膜放入至质量比为10倍量的纯水中,在以121℃进行20小时热水提取后,将提取液的上清液设为检测液;将检测液及目标离子的标准液导入至离子色谱分析装置,利用校准曲线法求出检测液中的甲酸根离子、乙酸根离子、丙酸根离子及硫酸根离子的浓度,换算成相对于有机膜的质量而言的溶出离子质量,将如此而得的值设为离子溶出量。

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权利要求:

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