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一种晶圆裂片颗粒筛选分级装置 

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申请/专利权人:四川上特科技有限公司

摘要:本发明公开了一种晶圆裂片颗粒筛选分级装置,涉及筛分技术领域,包括:连接件包括立柱和支架,筛盘两侧壁上下滑动配合于支架,支架上设有水平轴,水平轴上同轴设有圆板,立柱转动设于底座顶部,立柱上固定套设有块体,立柱外设有第一扭簧,第一扭簧两端连接底座与块体,块体一侧设有基轴,水平轴端部转动连接于基轴,基轴外设有第二扭簧,第二扭簧两端连接块体与圆板;第一收集盘位于筛盘下方,筛盘连接有激振器;动力机构设于底座,用于使立柱转动预设角度,以使筛盘移动至第二收集盘上方;当筛盘移动至第二收集盘上方时,动力机构还用于转动水平轴,以使筛盘翻转预设角度。本方案可以自动筛分,自动倒掉筛盘内的晶粒。

主权项:1.一种晶圆裂片颗粒筛选分级装置,其特征在于,包括筛盘(1)、第一收集盘(21)、第二收集盘(22)、连接件(3)、动力机构(4);连接件(3)包括立柱(31)和支架(33),筛盘(1)两侧壁上下滑动配合于支架(33),支架(33)上设有水平轴(34),水平轴(34)上同轴设有圆板(341),立柱(31)转动设于底座(311)顶部,立柱(31)上固定套设有块体(312),立柱(31)外设有第一扭簧(314),第一扭簧(314)两端连接底座(311)与块体(312),块体(312)一侧设有基轴(313),水平轴(34)端部转动连接于基轴(313),基轴(313)外设有第二扭簧(315),第二扭簧(315)两端连接块体(312)与圆板(341);筛盘(1)内用于承装待筛分的晶粒,第一收集盘(21)位于筛盘(1)下方,筛盘(1)连接有激振器(5);动力机构(4)设于底座(311),用于使立柱(31)转动预设角度,以使筛盘(1)移动至第二收集盘(22)上方;当筛盘(1)移动至第二收集盘(22)上方时,动力机构(4)还用于转动水平轴(34),以使筛盘(1)翻转预设角度。

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权利要求:

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