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申请/专利权人：杭州嘉悦智能设备有限公司
摘要：本发明涉及一种冷却收集结构及氧化亚硅生产设备。该冷却收集结构包括水冷桶、外管、内管、回水管以及保温桶，水冷桶向上开口且内部具有循环腔，外管穿过开口至与水冷桶的底壁固定，内管沿外管内部贯穿水冷桶内壁至与循环腔连通，内管内部形成进水通路，内管与外管之间形成出水通路，回水管一端与循环腔顶部连通，另一端与出水通路连通；保温桶设置于水冷桶外侧且与水冷桶外侧面贴合；一方面，保温桶的存在能够防止冷却水直接与收料表面接触，从而避免收料表面过冷的情况发生，另一方面，保温桶的保温作用延长了温度变化的时间，增加了收料表面的热稳定性，减少了温度波动，能够有效减少氧化亚硅分层现象，提高沉积效率。
主权项：1.一种冷却收集结构，其特征在于，包括水冷桶（10）、外管（20）、内管（30）、回水管（40）以及保温桶（50），所述水冷桶（10）向上开口且内部具有循环腔（11），所述外管（20）穿过开口至与所述水冷桶（10）的底壁固定，所述内管（30）沿所述外管（20）内部贯穿所述水冷桶（10）内壁至与所述循环腔（11）连通，所述内管（30）内部形成进水通路，所述内管（30）与所述外管（20）之间形成出水通路，所述回水管（40）一端与所述循环腔（11）顶部连通，另一端与所述出水通路连通；所述保温桶（50）设置于所述水冷桶（10）外侧且与所述水冷桶（10）外侧面贴合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州嘉悦智能设备有限公司 冷却收集结构及氧化亚硅生产设备
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