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具有网格图案的功能薄膜及其制备方法 

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申请/专利权人:天津大学

摘要:本发明属于图案化材料制备领域,具体涉及一种具有网格图案的功能薄膜及其制备方法。制备方法包括下述步骤:步骤1:在气液界面处自发生成碳酸盐半球并组织成有序的碳酸盐半球阵列;步骤2:将碳酸盐半球阵列转移到基材表面;步骤3:在覆盖有碳酸盐半球阵列掩膜的基材表面沉积功能材料;步骤4:去除碳酸盐半球阵列掩膜及其上方的沉积层以得到具有网格图案的功能薄膜。本发明提出的根本性改进与简化,而且还可将多个原先独立的若干过程,融合为一个连贯的整体,大大降低了整个体系的复杂性和所需的投资成本,使得本发明在更广泛工业领域,具有规模化应用前景。

主权项:1.一种具有网格图案的功能薄膜的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:步骤1:在气液界面处自发生成碳酸盐半球并组织成有序的碳酸盐半球阵列;步骤2:将碳酸盐半球阵列转移到基材表面;步骤3:在覆盖有碳酸盐半球阵列掩膜的基材表面沉积功能材料;步骤4:去除碳酸盐半球阵列掩膜及其上方的沉积层以得到具有网格图案的功能薄膜。

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权利要求:

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