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申请/专利权人：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及吸盘技术领域，具体涉及一种固定吸盘治具，包括治具本体，所述治具本体包括用于托载硅环的载面，所述载面上开设有若干吸附环槽，所述吸附环槽的底壁上开设有与气道连通的气孔；所述气道上设有控制该气道通断的阀门；所述气道和气孔之间还设有封板；所述吸盘治具还包括触发构件和复位组件，所述触发构件与封板保持相对固定且其至少部分位于吸附环槽中，所述触发构件被构造为，当硅环放置到载面上时，被硅环覆盖的吸附环槽中的触发构件在硅环的挤压下，推动封板进入第二位置，当移除硅环时，在复位组件的作用下封板复位至第一位置；本方案中，封板的位置状态切换是根据硅环的放置自动进行的，无需人为额外进行操作。
主权项：1.一种固定吸盘治具，包括治具本体，所述治具本体包括用于托载硅环的载面，所述载面上开设有若干同轴设置且直径不同的吸附环槽，其特征在于，所述治具本体还包括若干与吸附环槽一一对应的且相互独立的气道，所述吸附环槽的底部设有与气道连通的气孔；所述气道上设有控制该气道通断的阀门；所述气道和气孔之间还设有封板，所述封板能够相对于气孔在第一位置和第二位置间活动，第一位置下所述封板遮盖住所述气孔，第二位置下，所述封板开启气孔以使气孔和气道保持相连通；所述吸盘治具还包括触发构件和复位组件，所述触发构件与封板保持相对固定且其至少部分位于吸附环槽中，所述触发构件被构造为，当硅环放置到载面上时，被硅环覆盖的吸附环槽中的触发构件在硅环的挤压下，推动封板进入第二位置，当移除硅环时，在复位组件的作用下封板复位至第一位置。
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权利要求：
百度查询： 浙江盾源聚芯半导体科技有限公司 一种固定吸盘治具
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