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质量分析装置 

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申请/专利权人:株式会社岛津制作所

摘要:本发明提供一种质量分析装置,即使在质量分析装置的上部载置有其他系统单元等的情况下,也能够容易地实施离子光学元件的电气布线的装卸。质量分析装置具备:形成真空室的腔室VC;配置于该腔室内的离子光学元件MFP;以及用于从配置于该腔室的外部的电源向该离子光学元件供电的供电线,在该腔室的除了上表面及下表面以外的壁面的至少一部分形成有开口部OP,并且具备封闭该开口部的侧面盖VC1,该供电线FT与该电缆CA的连接位置及该离子光学元件端子MT与该电缆CA的连接位置被设定为在将该离子光学元件收容于该腔室内的状态下,能够从该开口部拆卸该电缆CA的位置。

主权项:1.一种质量分析装置,其特征在于,具备:腔室,其形成真空室;离子光学元件,其沿着该腔室内的离子光轴被配置;以及供电线,其用于从配置于该腔室的外部的电源向该离子光学元件供电,在该腔室的除了上表面及下表面以外的壁面的至少一部分形成有能够使该离子光学元件出入该腔室内的开口部,并且具备封闭该开口部的侧面盖,该质量分析装置具备连接该供电线与该离子光学元件的电缆,该供电线与该电缆的连接位置及该离子光学元件与该电缆的连接位置被设定为在将该离子光学元件收容于该腔室内的状态下,能够从该开口部拆卸该电缆的位置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社岛津制作所 质量分析装置

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