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玻璃原片在线镀膜方法及TCO镀膜玻璃 

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申请/专利权人:漳州旗滨玻璃有限公司

摘要:本发明公开了一种玻璃原片在线镀膜方法及TCO镀膜玻璃,属于玻璃生产技术领域,在线镀膜方法包括以下步骤:在镀膜区的上方设置反应器,控制玻璃原片以拉引速度v移动进入镀膜区,并通过反应器向镀膜区输入气体原料,气体原料反应后沉积在玻璃原片表面形成膜层,同时将废气抽出镀膜区;根据拉引速度v设定镀膜区的排废速比K,以使膜层的方块电阻偏差值和或透光率偏差值低于阈值。本发明的技术方案可以获得具有大面积均匀性的TCO玻璃,解决了大面积在线TCO玻璃生产中存在的均匀性差的问题。

主权项:1.一种玻璃原片在线镀膜方法,其特征在于,包括以下步骤:在镀膜区的上方设置反应器,控制玻璃原片以拉引速度v移动进入镀膜区,并通过反应器向镀膜区输入气体原料,气体原料反应后沉积在玻璃原片表面形成膜层,同时将废气抽出镀膜区;根据拉引速度v设定镀膜区的排废速比K,以使膜层的方块电阻偏差值和或透光率偏差值低于阈值。

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权利要求:

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