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申请/专利权人：嘉兴博瑞半导体装备有限公司
摘要：本发明公开了高装载量高温石墨化炉，属于高温石墨化炉技术领域，可以保证在工作时各腔室之间能相互独立，方便进行后续的进出料，同时能降低预热腔升温的整体消耗，提高冷却腔内物品的整体冷却效果，降低高温石墨化炉的整体工作成本。该高装载量高温石墨化炉包括墨化炉本体，所述墨化炉本体从左到右依次设置有预热腔、加热腔以及冷却腔，所述墨化炉本体底部处安装有转动轴，所述墨化炉本体的一侧边上安装有辅助转动轴转动的转动电机，所述加热腔的中段处安装有气氛管，所述墨化炉本体的两端以及所述预热腔与加热腔和所述加热腔与所述冷却腔之间均安装有辅助密封的密封组件。
主权项：1.高装载量高温石墨化炉，该高装载量高温石墨化炉包括墨化炉本体1，其特征在于，所述墨化炉本体1从左到右依次设置有预热腔、加热腔以及冷却腔，所述墨化炉本体1底部处安装有转动轴5，所述墨化炉本体1的一侧边上安装有辅助转动轴5转动的转动电机8，所述加热腔的中段处安装有气氛管14，所述墨化炉本体1的两端以及所述预热腔与加热腔和所述加热腔与所述冷却腔之间均安装有辅助密封的密封组件9；所述密封组件9包括安装在所述墨化炉本体1上倒U型的安装框10，所述安装框10的内侧边上对称开设有滑动槽101，所述安装框10上滑动设置有密封板11，所述密封板11的两侧边上对称突出设置有滑动块111，所述滑动块111设置在所述滑动槽101中，所述安装框10顶部处开设有铰接槽，所述铰接槽处铰接安装有安装座12，所述安装座12顶部处安装有液压杆13，所述密封板11顶部处突出设置有铰接座112，所述液压杆13的伸长端安装在所述铰接座112上。
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