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一种三轴陀螺仪 

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申请/专利权人:杭州士兰微电子股份有限公司

摘要:本申请公开了一种三轴陀螺仪,包括中央耦合结构;结构相同的第一扭摆质量块、第二扭摆质量块、第三扭摆质量块和第四扭摆质量块;以及结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块;其中,第一扭摆质量块和第二扭摆质量块构成第一检测结构;第三扭摆质量块和第四扭摆质量块构成检测第二检测结构;第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块中的每个驱动质量块中设置检测质量块,第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块中的检测质量块构成第三检测结构;第一检测结构、第二检测结构和第三检测结构相互分离。

主权项:1.一种三轴陀螺仪,包括:中央耦合结构;结构相同的第一扭摆质量块、第二扭摆质量块、第三扭摆质量块和第四扭摆质量块,所述第一扭摆质量块、第二扭摆质量块、第三扭摆质量块和第四扭摆质量块围绕所述中央耦合结构,且分别与所述中央耦合结构耦接;以及结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块,围绕所述第一扭摆质量块、第二扭摆质量块、第三扭摆质量块和第四扭摆质量块;其中,所述第一扭摆质量块和所述第二扭摆质量块构成第一检测结构,所述第一检测结构用于检测第一轴线方向的角速度;所述第三扭摆质量块和所述第四扭摆质量块构成第二检测结构,所述第二检测结构用于第二轴线方向的角速度,所述第一轴线与所述第二轴线垂直;所述第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块中的每个驱动质量块中设置检测质量块,所述第一驱动质量块、所述第二驱动质量块、所述第三驱动质量块和所述第四驱动质量块中的检测质量块构成第三检测结构,所述第三检测结构用于检测第三轴线方向的角速度,所述第三轴线分别与所述第一轴线和所述第二轴线垂直;所述第一检测结构、所述第二检测结构和所述第三检测结构相互分离。

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