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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：提供一种光学式位移计，在针对静止的工件使投光受光模块旋转来测定位移的位移计中抑制高度数据的误差。光学式位移计具备：投光部，其向工件照射狭缝光；图像传感器，其输出来自工件的反射光的受光量分布；马达，其使投光部和图像传感器一体地旋转；控制部，其控制马达，来使狭缝光进行扫描并且使图像传感器一边旋转一边曝光；以及旋转角度获取部，其获取与图像传感器的曝光期间对应的基准角度。控制部在曝光期间中一边使图像传感器旋转，一边获取所得到的受光量分布的在V方向上的峰位置，基于与曝光期间对应的基准角度、以及图像传感器的控制条件或马达的控制条件，来估计获取到峰位置的代表角度，根据峰位置来计算代表角度下的工件的高度。
主权项：1.一种光学式位移计，具备：投光部，其向工件照射沿X方向延展的狭缝光；图像传感器，其具有在与所述X方向对应的U方向、以及与该U方向正交的V方向上二维排列的多个像素，所述图像传感器输出通过所述多个像素获得的来自所述工件的反射光的受光量分布；马达，其使所述投光部和所述图像传感器一体地旋转；控制部，其控制所述马达，来使所述狭缝光在与所述X方向正交的方向上进行扫描，并且使所述图像传感器一边绕与X方向平行的轴旋转一边进行曝光；以及旋转角度获取部，其获取与所述图像传感器的曝光期间对应的基准角度，其中，所述控制部在所述曝光期间中一边使所述图像传感器旋转，一边获取在所述多个像素中蓄积电荷而得到的受光量分布的在所述V方向上的峰位置，所述控制部基于与所述曝光期间对应的所述基准角度、以及所述图像传感器的控制条件或所述马达的控制条件，来估计获取到所述峰位置的代表角度，根据所述峰位置来计算该代表角度下的所述工件的Z方向上的高度。
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