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申请/专利权人：上海大尘微影半导体科技有限公司
摘要：本实用新型属于电子束电镜技术领域，具体公开了位移台穿腔调节机构，包括下腔体、支撑框架、底框、支撑柱和固定板，所述下腔体内侧设置有位移安装台，下腔体与支撑框架之间设置有穿腔波纹管，底框上方侧边的位置均匀设置有四个支撑柱和一个固定板，并且支撑框架底部均匀设置有多个气囊减振器，气囊减振器下方固定有气浮搬运器；四个支撑柱上分别设有第一限位点、第二限位点、第三限位点和第四限位点，固定板上设有第五限位点和第六限位点，固定板上以及两个第一支撑块上均螺纹连接有球头螺栓，其中固定板上设置有两个球头螺栓与第五限位点和第六限位点对应，通过调节球头螺栓的高度以及限位点垫片厚度来调节支撑框架的六自由度，通过气囊的Z向气浮力提供足够的刚度。
主权项：1.位移台穿腔调节机构，其特征在于：包括下腔体1、支撑框架3、底框4、支撑柱5和固定板6，所述下腔体1内侧设置有位移安装台2，支撑框架3设置在下腔体1下方，底框4位于支撑框架3下方，下腔体1与支撑框架3之间设置有多个穿腔波纹管15，位移安装台2通过穿腔波纹管15与支撑框架3连接，底框4上方侧边的位置均匀设置有四个支撑柱5和一个固定板6，并且支撑框架3底部均匀设置有多个气囊减振器8，气囊减振器8下方固定有气浮搬运器7；四个支撑柱5上分别设置有第一限位点9、第二限位点10、第三限位点11和第四限位点12，第一限位点9、第二限位点10、第三限位点11和第四限位点12下方均设置有限位点精密垫片21，固定板6上设有第五限位点13和第六限位点14，其中第二限位点10和第四限位点12上分别设置有销孔和销长圆孔，支撑框架3侧边分别设置有两个第一支撑块16和两个第二支撑块17，两个第一支撑块16与第一限位点9和第三限位点11对应，两个第二支撑块17与第二限位点10和第四限位点12对应，固定板6上以及两个第一支撑块16上均螺纹连接有球头螺栓，其中固定板6上设置有两个球头螺栓分别与第五限位点13和第六限位点14对应，两个第二支撑块17上分别通过锥头销钉与销孔和销长圆孔活动连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大尘微影半导体科技有限公司 位移台穿腔调节机构
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