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申请/专利权人：厦门蚨祺自动化设备有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆OCR设备的光源控制电路，其包括电源模块、选择模块、控制模块、明场照明光源和暗场照明光源，明场照明光源和暗场照明光源均包括至少一发光单元；选择模块包括至少两控制开关；控制模块包括主控芯片、至少两调光单元和至少两通断单元，调光单元、通断单元和发光单元一一对应并依次连接；选择模块、主控芯片和调光单元均连接电源模块取电，主控芯片连接选择模块接收选择模块发出的信号；主控芯片连接通断单元并控制通断单元连通调光单元和发光单元。本实用新型能够方便地切换明暗场照明，明暗场照明都具有多光谱，且光谱可调，使得晶圆OCR设备可以适用于各种材质的晶圆。
主权项：1.一种晶圆OCR设备的光源控制电路，其特征在于：包括电源模块、选择模块、控制模块、明场照明光源和暗场照明光源，所述明场照明光源和暗场照明光源均包括至少一发光单元；所述选择模块包括至少两控制开关，其中一所述控制开关用于提供明场照明光源和暗场照明光源切换信号，其余所述控制开关用于提供通断发光单元信号，用于提供通断发光单元信号的控制开关的数量等于明场照明光源对应的发光单元数量和暗场照明光源对应的发光单元数量中的最大值；所述控制模块包括主控芯片、至少两调光单元和至少两通断单元，所述调光单元、通断单元和发光单元一一对应并依次连接；所述选择模块、主控芯片和调光单元均连接电源模块取电，所述主控芯片连接选择模块接收明场照明光源和暗场照明光源切换信号和通断发光单元信号；所述主控芯片连接通断单元并控制通断单元连通调光单元和发光单元。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门蚨祺自动化设备有限公司 一种晶圆OCR设备的光源控制电路
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