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申请/专利权人:洛阳晶联光电材料有限责任公司
摘要:本实用新型涉及一种旋转靶拼接缝的清理装置,包括旋转靶夹具,旋转靶夹具用于从待清理靶材的两端夹持待清理靶材;清理组件,清理组件具有可转动内环,所述可转动内环上安装有刀具组件,可转动内环带动刀具组件围绕待清理靶材转动,以刮除待清理靶材接缝处的残留物;清理组件底座,用于支撑所述清理组件;清理组件轨道组,与所述清理组件底座连接,用于带动清理组件直线移动,以调整清理位置。本实用新型借助围绕旋转靶材旋转的刀具组件压在靶材的接缝位置对接缝处进行清理,提高旋转靶的清理效果,并确保旋转靶在清理中不受损坏。
主权项:1.一种旋转靶拼接缝的清理装置,其特征在于:包括旋转靶夹具,旋转靶夹具用于从待清理靶材的两端夹持待清理靶材;清理组件,清理组件具有可转动内环,所述可转动内环上安装有刀具组件,可转动内环带动刀具组件围绕待清理靶材转动,以刮除待清理靶材接缝处的残留物;清理组件底座,用于支撑所述清理组件;清理组件轨道组,与所述清理组件底座连接,用于带动清理组件直线移动,以调整清理位置。
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权利要求:
百度查询: 洛阳晶联光电材料有限责任公司 一种旋转靶拼接缝的清理装置
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