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申请/专利权人：江苏微镀新能源科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于PVD真空镀膜机的工件装载夹具，包括电机，所述电机的顶部固定连接有置具，所述置具的内表面滑动连接有装载机构，所述装载机构的顶部滑动连接有盖板，所述装载机构包括转杆，所述转杆的两端固定连接有十字锁头，所述十字锁头的外表面与置具的内表面滑动连接，所述转杆的外壁固定连接有圆盘，所述转杆的外壁固定连接有波浪曲杆，所述转杆的外壁固定连接有夹持机构，所述转杆的外壁固定连接有圆杆机构。该机构涉及真空镀膜机领域，本实用新型通过设置圆盘和波浪曲杆，解决了夹具只能对薄片状工件进行夹持不能满足PVD真空镀膜机应用范围的问题，提高了夹具的适用范围。
主权项：1.一种用于PVD真空镀膜机的工件装载夹具，包括电机（1），其特征在于：所述电机（1）的顶部固定连接有置具（2），所述置具（2）的内表面滑动连接有装载机构（3），所述装载机构（3）的顶部滑动连接有盖板（4），所述装载机构（3）包括转杆（31），所述转杆（31）的两端固定连接有十字锁头（311），所述十字锁头（311）的外表面与置具（2）的内表面滑动连接，所述转杆（31）的外壁固定连接有圆盘（32），所述转杆（31）的外壁固定连接有波浪曲杆（33），所述转杆（31）的外壁固定连接有夹持机构（34），所述转杆（31）的外壁固定连接有圆杆机构（35）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微镀新能源科技有限公司 一种用于PVD真空镀膜机的工件装载夹具
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